自動勻膠顯影機(jī)是一種用于半導(dǎo)體制造、微電子、納米技術(shù)和光電器件等領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備。它主要用于在襯底上均勻涂覆光刻膠，并通過顯影過程將光刻圖案轉(zhuǎn)移到襯底上。勻膠和顯影過程的實現(xiàn)主要依賴于以下幾個步驟：
 

　　1、襯底加載：首先將待處理的襯底放入自動勻膠顯影機(jī)的載片臺上。載片臺通常具有真空吸附功能，以確保襯底在處理過程中保持穩(wěn)定。
 

　　2、勻膠過程：勻膠過程主要包括滴膠、旋轉(zhuǎn)涂布和溶劑蒸發(fā)三個階段。
 

　　a)滴膠：在襯底中心滴上一定量的光刻膠。光刻膠的粘度、表面張力和滴膠量等參數(shù)需要根據(jù)襯底尺寸和所需膠層厚度進(jìn)行精確控制。
 

　　b)旋轉(zhuǎn)涂布：啟動載片臺旋轉(zhuǎn)，通過離心力將光刻膠均勻分布在襯底表面。旋轉(zhuǎn)速度和時間需要根據(jù)光刻膠的性能和所需膠層厚度進(jìn)行調(diào)整。
 

　　c)溶劑蒸發(fā)：在旋轉(zhuǎn)涂布過程中，部分溶劑會逐漸蒸發(fā)，使光刻膠變得更加粘稠。通過控制環(huán)境的濕度和溫度，可以調(diào)整溶劑蒸發(fā)速率，從而獲得理想的膠層厚度和均勻性。
 

　　3、前烘過程：勻膠完成后，需要對襯底進(jìn)行預(yù)熱處理，以進(jìn)一步去除光刻膠中的溶劑，提高膠層的附著力和穩(wěn)定性。前烘過程通常在熱板上進(jìn)行，溫度和時間需要根據(jù)光刻膠的性能進(jìn)行調(diào)整。
 

　　4、曝光過程：將前烘后的襯底送入光刻機(jī)進(jìn)行曝光。光刻機(jī)通過投影系統(tǒng)將掩模圖案照射到襯底上的光刻膠層，使曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)。
 

　　5、顯影過程：曝光完成后，將襯底重新放回自動勻膠顯影機(jī)的顯影模塊。顯影過程主要包括以下步驟：
 

　　a)噴涂顯影液：將顯影液均勻噴灑在襯底表面，使曝光區(qū)域的光刻膠溶解。
 

　　b)浸泡顯影：將襯底浸入顯影液中，通過控制浸泡時間和顯影液的濃度、溫度等參數(shù)，可以實現(xiàn)不同對比度和分辨率的圖案顯影。
 

　　c)沖洗和干燥：用去離子水沖洗掉顯影液和溶解的光刻膠，然后通過旋轉(zhuǎn)或吹氣的方式將襯底表面的水分去除，得到清晰的光刻圖案。
 

　　通過以上步驟，自動勻膠顯影機(jī)實現(xiàn)了襯底上光刻膠的均勻涂布和圖案的精確顯影，為后續(xù)的刻蝕、離子注入等工藝奠定了基礎(chǔ)。